钨铜基电镀铝层阳极氧化后的安排和功能研讨

  （ １ ． Ｉ ｎ ｓ ｔ ｉ ｔ ｕ ｔ ｅ ｏ ｆ Ａ ｐ ｐ ｌ ｉ ｅ ｄ Ｐ ｈ ｙ ｓ ｉ ｃ ｓ ， Ｊ ｉ ａ ｎ ｇ ｘ ｉ Ａ ｃ ａ ｄ ｅ ｍ ｙ ｏ ｆ Ｓ ｃ ｉ ｅ ｎ ｃ ｅ ｓ ， Ｊ ｉ ａ ｎ ｇ ｘ ｉ Ｎ ａ ｎ ｃ ｈ ａ ｎ ｇ ３ ３ ０ ０ ２ ９ Ｐ Ｒ Ｃ ；

  ｉ ｎ ｅ ｔ ｈ ａ ｎ ｅ ｄ ｉ ｏ ｉ ｃ ａ ｃ ｉ ｄ ｗ ｅ ｒ ｅ ｒ ｅ ｐ ｏ ｓ ｅ ｄ ｉ ｎ ｔ ｈ ｉ ｓ ｗｏ ｒ ｋ ． Ｅｆ ｆ ｅ ｃ ｔ ｓ ｏ ｆ ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｉ ｃ ｖ ｏ ｌ ｔ ａ ｇ ｅ ａ ｎ ｄ ａ ｎ ｏ ｄ ｉ ｃ ｔ ｉ ｍｅ ｏ ｎ ｓ ｕ ｆａ ｒ ｃ ｅ ｍｏ ｒ ｐ ｈ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ， ｓ ｔ ｒ ｕ ｃ ｔ ｕ ｒ ｅ ａ ｎ ｄ ｓ ｕ ｆ ｒ ａ ｃ ｅ ｉ ｎ ｓ ｕ ｌ ａ ｔ ｉ ｖ ｉ ｔ ｙ ｏ ｆ ｔ ｈ ｅ ｉ ｆ ｌ ｍｓ ｗｅ ｒ ｅ ｓ ｔ ｕ ｄ ｉ ｅ ｄ ． Ｒｅ ｓ ｕ ｌ ｔ ｓ ｓ ｈ ｏ ｗｅ ｄ ｔ ｈ ａ ｔ ， ａ ｆ ｔ ｅ ｒ

  文章编号 ： １ ０ ０ １ —３ ６ ７ ９ （ ２ ０ １ ４ ） ０ １ —０ ０ ５ ７— ０ ６

  钨 铜 基 电镀 铝 层 阳极 氧 化 后 的 组 织 和性 能 研 究

  ｔ ｒ ｅ ａ ｔ ｍｅ ｎ ｔ ， ｔ ｈｅ ｓ ｕ ｆａ ｒ ｃ ｅ ｐａ ｒ ｔ ｉ ｃ ｌ ｅ ｓ ｂ ｅ ｃ ａ ｍｅ ｌｏ ｆ ｃ ｃ ｕｌ ｅ ｎ ｔ ， ｓ ｍｏ ｏ ｔ ｈ ａ ｎ ｄ ａ ｇ ｏ ｏ ｄ ｃ ｏ ｎ ｎ ｅ ｃ ｔ ｉ ｏ ｎ ｂｅ ｔ ｗｅ ｅ ｎ ｔ ｈ ｅ ｍ． Ｔ ｈｅ

  ２ ． Ｍ ａ ｔ ｅ ｉ ｒ ａ ｌ Ｓ ｃ ｉ ｅ ｎ ｃ ｅ ａ ｎ ｄ Ｅ ｎ ｇ ｉ ｎ ｅ ｅ ｉ ｒ ｎ ｇ Ａ ｃ ａ ｄ ｅ ｍ ｙ ， Ｎ ａ ｎ ｃ ｈ ａ ｎ ｇ Ｕ ｎ ｉ ｖ ｅ ｒ ｓ ｉ ｔ ｙ ， Ｊ ｉ ａ ｎ ｇ ｘ ｉ Ｎ ａ ｎ ｅ ｈ ａ ｎ ｇ ３ ３ ０ ０ ３ １ Ｐ Ｒ Ｃ ）

  Ａｂｓ ｔ ｒ ａ ｃ ｔ： Ｔｈ ｅ ａ ｎ ｏ ｄ ｉ ｚ ｅ ｄ ｄ ｉ ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｉｃ ｒ ｉｌ ｆ ｍｓ ｏ ｎ ｔ ｈ ｅ ｓ ｕ ｒ ｆ ａ ｃ ｅ ｏ ｆ Ａｌ ｃ ｏ ａ ｔ ｉ ｎｇ ｓ曲 ｅ ｒ ａ ｎ ｏ ｄ ｉ ｃ ｏ ｘ ｉ ｄ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｔ ｒ ｅ ａ ｔ ｍｅ ｎ ｔ

  ｓ ｉ ｚ ｅ ｏ ｆ ｈ ｏ ｌ ｅ ｓ ｏ ｎ ｔ ｈ ｅ ｓ ｕ ｆ ｒ ａ ｃ ｅ ｏ ｆ ａ ｎ ｏ ｄ ｉ ｚ ｅ ｄ ｉ ｆ ｌ ｍ ｉ ｎ ｃ ｒ ｅ ａ ｓ ｅ ｄ ａ ｓ ａ ｎ ｏ ｄ ｉ ｃ ｔ ｉ ｍｅ ｐ ａ ｓ ｓ ｅ ｄ， ｔ ｈ ｅ ｓ ｕ ｆａ ｒ ｃ ｅ ｍｉ ｃ ｒ ｏ — ｈ ａ ｒ ｄ — ｎ ｅ ｓ ｓ ｗａ ｓ ｓ ｉ ｇ ｎ ｉ ｉ ｆ ｃ ａ ｎ ｔ ｌ ｙ ｂ ｉ ｇ ｇ ｅ ｒ ｔ ｈ ａ ｎ ｂ ｅ ｆ ｏ ｒ ｅ， ａ ｎ ｄ ａ ｓ ｔ ｉ ｍｅ ｐ ａ ｓ ｓ ｅ ｄ ， ｉ ｔ ｉ ｆ ｒ ｓ ｔ ｌ ｙ ｉ ｎ ｃ ｒ ｅ ａ ｓ ｅ ｄ， ｔ ｈ ｅ ｎ ｄ ｅ ｃ ｒ ｅ ａ ｓ ｅ ｄ， ｉ ｆ —

  （ １ ． 江西省科学 院使用物理研讨所 ， 江西 南昌 ３ ３ ０ ０ ２ ９ ； ２ ． 南 昌大学材料科学与工程学 院， 江西 南昌 ３ ３ ０ ０ ３ １ ）

  摘要 ： 采 用直流草 酸法对镀铝层进行 阳极 氧化 ， 研 究了氧化 电压和氧化 时刻对氧化层表 面描摹 、 安排架构及 表 面绝缘性的影响 。采 用金相显微镜对镀铝层和氧化层 表 面形 貌进行观 察 ， 扫描 电镜和 ｘ射 线衍射仪 剖析镀 铝层和氧化层的成分与结构 ， 并对其硬度进行 测验 ， 探 索钨铜 箔片上制备氧化铝 的最佳 工艺。试验现 象表 明： 通过 阳极氧化处理后 ， 氧化层表 面致 密滑润 ， 由非 晶 Ａ １ ， Ｏ 和 Ａ ｌ 相组成 ， 电绝缘性 能 杰出 ； 氧化 铝膜的硬度 随 着氧化 时刻出现先添加后 下降 ， 最终 趋于稳 定的趋 势 ； 而氧 化铝膜 的硬 度随 着氧化 电压增 大而增 大。 当氧化

  电压控制在 ３ ０ Ｖ， 氧化 时刻在 ３—６ ｈ时， 最有利于氧化膜的构成 ， 且膜厚呈增 大趋 势。

  关键词 ： 阳极 氧化 ； 氧化膜 ； 表 面描摹 ； 硬度 ； 绝缘性

  Ｓ ｔ ｕ ｄ ｙ ｏ ｎ Ｓ ｔ ｒ ｕ ｃ ｔ ｕ ｒ ｅ ａ ｎ ｄ Ｐｅ ｒ ｆ ｏ ｒ ｍａ ｎ ｃ ｅ ｏ ｆ ｔ ｈ ｅ ＡＩ Ｃｏ ａ ｔ ｉ ｎ ｇ Ｓ ｕ ｒ ｆ ａ ｃ ｅ ｏ ｎ Ｗ． ＣＵ Ｓ ｕ ｂ ｓ ｔ ｒ ａ ｔ ｅ ａ ｆ ｔ ｅ ｒ Ａｎ ０ ｄ ｉ ｃ ０ ｘ ｉ ｄ ａ ｔ ｉ ０ ｎ Ｔｒ ｅ ａ ｔ ｍｅ ｎ ｔ