可溶性铜阳极、电解铜电镀设备、电解铜电镀办法及酸性

  专利称号：可溶性铜阳极、电解铜电镀设备、电解铜电镀办法 及酸性电解铜电镀液的保存办法

  摘要：本发明的意图是供给一种可以稳定地按捺阳极泥的生成的可溶性铜阳极、电解铜电镀装 置、电解铜电镀办法及酸性电解铜电镀液的保存办法。为完成该意图，本发明供给一种用于电解铜 电镀的可溶性铜阳极，其特征是，包括收纳了铜部件的钛外壳及与该钛外壳触摸的氧化铱部件。这 里，该氧化铱部件至少外表的原料为氧化铱单体或氧化铱复合物，然后可以按捺阳极泥的生成，不会 导致电镀特性的下降。