北方华创发布首款12英寸电镀设备 正式进军电镀设备商场

  正式发布公司首款12英寸电镀设备（ECP）——Ausip T830。该设备专为硅通孔（TSV）铜填充规划，首要运用在于2.5D/3D先进封装范畴。该产品标志着正式进军电镀设备商场，并在先进封装范畴构建了包含刻蚀、去胶、PVD、CVD、电镀、PIQ和整理洗刷设备的完好互连解决方案。电镀作为物理气相堆积（PVD）的后道工艺，其设备与PVD设备协同作业，大范围的应用于逻辑、存储、功率器材、先进封装等芯片制作工艺。跟着先进封装和三维集成技能的加快速度进行开展，电镀设备的全球商场规模已达每年80亿-90亿元人民币，且仍在加快扩张，估计未来几年将打破百亿大关。