【48812】支撑到5nm！芯片工艺又一要害环节自主可控

  80多年前，鲁迅在《我国人失掉自傲力了吗》里写到，咱们自古以来，就有埋头苦干的人，有为民请命的人，有舍身求法的人……这便是我国的脊柱。

  最近星空君读到一个芯片工程师写的一句话：一代人有一代人的长征，一代人有一代人的任务。我从长辈手里接下了火炬，我也会将火炬继续传递下去。

  很多人提起芯片，言必称光刻机、ASML，但是冷常识是，ASML的光刻机原本便是个偶尔。

  在ASML研宣告EUV光刻机之前，光刻机商场以佳能和尼康为主，只不过在赌未来的研制方向的时分，ASML成了那个赢家。

  在制程面对物理学极限和其他光刻机厂商穷追猛打的状况下，ASML能否还能引领下个十年是个未知数。

  除了光刻机，芯片工业稀有十个要害节点。在我国芯片职业遭到“卡脖子”以来，这个职业迎来了史无前例的蜕变。从很多的出产环节高度依靠全球工业链，到尽可能的国产自主可控。

  在半导体整理洗刷设备、半导体电镀设备与半导体抛铜设备方面，盛美上海现已支撑到了28nm及以下制程，其间半导体抛铜设备支撑到了5nm乃至3nm制程。

  1997年，IBM研讨院宣告用铜互连技能替代铝互连制技能来出产芯片，让芯片的速度再进步15%。这项技能被称为CMOS7S。

  其时在美国从事半导体设备研讨的王晖，根据此理论，创造性地提出了可用于超薄仔晶层的多阳极部分电镀铜技能。

  1998年，王晖与一群清华校友在硅谷创立了盛美半导体，首要是做半导体专用设备的研制。

  2006年，王晖回国创业，成立了盛美上海。其时我国的芯片工业刚刚起步，还遭到“汉芯事情”的冲击。王晖挑选了芯片世界巨子无暇顾及但又至关重要节点：半导体整理洗刷设备。

  公司的第一个真实意义上的大客户，是韩国海力士。作为存储芯片的巨子，海力士最大的出产基地在无锡，盛美上海和海力士进行了深化协作。海力士2009年引入了盛美的整理洗刷设备，展开产品验证。从产品进厂验证到正式获得订单，盛美花了近2年的时刻。

  现在，盛美上海的大客户名单里，多了中芯世界、长江存储、华虹半导体等国内芯片巨子。

  公司刚刚发布了2022年年报，2022年经营收入28.73亿元，2021年为16.21亿元，同比增加77.25%；2022年归归于上市公司股东的净赢利6.68亿元，2021年为2.66亿元，同比增加151.08%；2022年扣除非经常性损益后的归归于上市公司股东的净赢利6.90亿元，2021年为1.95亿元同比增加254.27%。

  半导体清洗设备尽管归于十分细分的范畴，但技能上的含金量并不低。当本钱的浪潮席卷而来的时分，公司凭仗核心技能安然的迎候赢利。

  年报显现，公司凭仗先进的技能和丰厚的产品线，已开展成为我国大陆少量具有必定世界竞争力的半导体设备供货商，产品得到很多国内外干流半导体厂商的认可，并获得杰出的商场口碑。

  跟着公司技能水平的逐渐的进步、产品成熟度以及商场对公司产品的认可度不断的进步，公司事务开辟敏捷，出售的收益继续增加，陈述期内坚持继续盈余。

  1984年赴日本大阪大学主攻半导体设备及工艺的工学硕士及博士。结业后先入美国辛辛那提大学电机系纳米实验室从事博士后研讨，后在美国硅谷从事半导体设备及工艺研制作业。1998年，在硅谷兴办ACM Research，创造多阳极部分电镀铜、无应力铜抛光技能及工艺。2006年，带队归国二次创业。

  从经历上看，和中微公司的尹志尧很像，中微公司在芯片制作极为要害的蚀刻机范畴做到全球抢先，乃至给台积电供货。

  （6）硅资料衬造湿法设备：化学机械研磨后（Post-CMP）清洗设备

  不过，公司和几个芯片巨子休戚相关。年报发表的关联方状况显现，NINEBELL（一家工业机器人公司）、合晶科技、上海积塔半导体都是公司的其他关联方。

  其间，NINEBELL是公司的工业机器人首要供货商之一，一起也是公司董事长王晖的实控公司。

  通过运作盛美上海在科创板上市，并购NINEBELL等操作，美籍身份的王晖个人身价现已数十亿元。